新风+FFU+DC是高世代TFT-LCD洁净室经常采用的洁净空调系统。由于洁净室对温度、湿度参数有着严格的要求，其室内工艺设备发热负荷以及建筑围护结构传热负荷的不稳定性，采用这种方式的优势是将洁净室送入空气的净化与热湿处理分开，洁净室的相对湿度由新风机组保证，它通过设在新风处理机组出口的露点温度控制除湿冷盘管的冷冻水供水量和预热盘管的热水流量，且机组出口的露点温度根据其对应送风口区域内实时检测的相对湿度进行连续的整定，从而确保洁净室内的相对湿度，而室内干表冷器的作用主要是消除洁净室内的显热负荷，根据洁净室内的实时温度，控制对应区域的干表冷器，以确保洁净室的温度，这一方面避免冷、热抵消现象，降低能源消耗。另一方面，由于循环空气处理需要干冷却过程，所需要的冷冻水分开制取，制冷机组可以得到较高的性能系数。
新风空气处理装置一般采用组合式空调机组，本项目机组功能段设置有：新风入口，初效过滤器，一级预热盘管，二级预热盘管，预冷却盘，温水淋水室，除湿冷却盘管，再热盘管，风机，中效过滤器，高效过滤器，新风出口。
