根据产品的生产特征和产能规划选择各种生产设备的型号以及数量是工艺设计的首要任务。同时，也有利于深圳厂房装修或者深圳办公室装修在目标产品的产能规模已经确定的前提下，需要根据工艺流程、设备的加工能力和使用效率计算出各个工艺环节所需要的各种类型设备的台套数。以此为基础，进一步计算出生产所需要的洁净区面积、员工人数以及水、电、气体的消耗量。
生产设备的平面布局也是电子洁净厂房工艺设计的重要内容。电子厂房洁净室形式一般有隧道式、开放式、岛形式布置等。据调查表明，集成电路芯片制造用洁净室一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造商，生产设备横跨洁净生产区和设备维护区，洁净生产区对洁净度要求严格，而设备维护区，洁净的空气洁净度等级相对较低。目前8英寸、12英寸芯片制造工厂普遍采用“开放式洁净室加微环境”。
